半導體行業(yè)用壓力傳感器

半導體行業(yè)用壓力傳感器
ZT15系列

產(chǎn)品描述：

半導體行業(yè)專用,各種半導體設備的超純氣體壓力測量

產(chǎn)品特征

· 產(chǎn)品體積小
· UC超潔凈處理
· 精度高
· 帶零調(diào)及滿偏調(diào)節(jié)功能
· 產(chǎn)品可靠壽命長

規(guī)格參數(shù)


測量介質(zhì)各種工業(yè)氣體、半導體氣體
電氣連接插頭式
連接口徑1/4VCR、1/4NPT   如需其他尺寸請聯(lián)系我們。
接液部材質(zhì)接頭： SUS316L   
壓力范圍0～0.3→0～20MPa
-0.1～0.3→-0.1～2MPa
精 度 ± 1.0% 
電源24V DC  
輸出4-20mA    1-5V DC  
響應速度1ms以下
溫度范圍-20-70℃
防護等級室內(nèi)用


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