半導體潔凈車間差壓控制原理

潔凈車間壓差控制的基本原理是控制送風量、回風量和排風量。

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當送入無塵室內(nèi)的空氣量適當?shù)拇笥诨仫L和排風量時,室內(nèi)則可維持一定的正壓值。此時,在潔凈車間內(nèi)外靜壓差的作用下,通過圍護結(jié)構(gòu)不嚴密處向外滲漏的風量與機械進出風量的差額相等。

潔凈車間壓差維持的難題在于機械送風量與出風量是動態(tài)變化的。對于潔凈空調(diào)系統(tǒng)來說,過濾器積塵會造成新風、送風管路阻力增加,從而影響風量;排風設(shè)備的時開時停也會導致排風量的變化;此外,與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風壓的變化影響房間的壓差。

因此潔凈車間的壓差值需要經(jīng)常進行檢查,并依次對新、送、回、排風通路的閥門作出相應的調(diào)整。而博益公司的差壓計壓力傳感器可以很好的監(jiān)控潔凈車間的風量動態(tài)變化,差壓計和壓力傳感器具有響應速度快、精度高、耐腐蝕、使用壽命高等特點。

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